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影像测量仪应用于半导体行业检测

黑片简介

黑片又名煅烧硅钢片,是硅钢片经过退火处理,然后通入氨气,使硅钢片的颜色发黑,因颜色是黑的所以叫黑片,是用来制作变压器或电机转子的一种材料,其厚度为1mm左右,几何形状为1/4圆环。它的平面几何参数的精确度对变压器和芯片的性能有重大的影响。

通过检测黑片的平面几何参数,再与给定的一组标准要求相比,可以识别产品是否存在缺陷,从而生产出符合要求的产品。

一、检测要求

项目:测量宽度、相对位置的距离、孔距

精度:3~5μm

二、传统测量方法及中旺测量解决方案

传统接触式测量法容易对黑片零件产生损坏,而且精度很难保证,所以采用传统的投影仪检测技术来检测黑片的平面几何参数难以确定是否符合要求。

中旺影像仪以图像处理技术为基础的机器视觉技术作为一种非接触检测手段已经越来越广泛的应用于产品检测中。机器视觉就是用机器代替人眼来做测量和判断,基于机器视觉的检测技术通常是指确定一个产品与给定的一组标准要求的偏差的过程。这种视觉检测是机器视觉众多应用中重要的领域之一,视觉检测技术具有非接触、精度高、速度快和智能化水平高、易于同设计信息与加工控制信息集成等优点,可以很好地满足零件的检测要求。中旺视觉检测技术的目的是:提高检测的安全性和可靠性;提高产品质量;提高生产的柔性和自动化程度。

目前生产黑片的部分厂家采用中旺影像仪测量一些精度较高的黑片尺寸,中旺影像仪有效的满足了用户的要求,得到用户的一致认可。


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